빠른 스티어링 미러 (FSM)

고속 스티어링 미러 (FSM) 의 특징

고속 스티어링 미러 (FSM) 는 레이저 빔 또는 다른 광원을 지향하도록 기울어지는 플렉셔 지지 시스템에 장착된 미러를 통합한다. 음성 코일 액추에이터 또는 와전류 센서들의 세트는 완전한 정밀도 및 낮은 지터 기능을 위한 방향성 모션을 제공하기 위해 사용된다.

이 시스템은 개방 루프 및 폐 루프 작동을 제공합니다. 폐쇄 루프 작동을 위해 통합 된 고속 정밀 센서를 사용하여 완벽한 피드백 제어 시스템을 제공합니다. 모듈 식 설계로 FSM은 미러 기판 선택, 조리개 크기, 기울기 정도 및 제어 전자 장치의 유연성을 증가시켜 모든 임무 요구 사항을 충족시킬 수 있습니다.

Bena Optics 고속 스티어링 미러는 예를 들어 λ/8 PV @ 632,8nm 의 간섭 제어 반사 파면 오차를 위해 표준으로 연마됩니다.

• 높은 강성

• 초경량 무게

• 낮은 관성 순간

• 높은 공진 주파수

• 열 안정성

• 낮은 동적 평탄도 PV

• 무독성 (베릴륨 교체)

고속 조향 거울은 빔 방향을 정확하게 제어하는 데 사용되는 광전 정밀 추적 시스템의 중요한 부분입니다. 빠른 거울 응답 속도, 높은 제어 정확도. 광학 경로의 틸트 오차를 보정하는 데 사용할 수 있으며 빔의 방향을 안정화시키는 데에도 사용할 수 있으며 고속 추적 시스템에서도 사용할 수 있습니다. 고속 미러는 고속의 정확한 포인팅, 안정화 및 빔의 추적을 실현하기 위해 구동 요소의 동작 하에서 미러의 고속 및 고주파 회전을 제어한다.

빠른 조향 거울 (FSM) 용 응용 프로그램

L측지 조사

L공수 및 우주 스캐닝 시스템

L기계 가공, 마킹, 첨가제 제조와 같은 고출력 레이저 재료 가공 UV-IR

L계측 및 웨이퍼 검사

L생물학적/의학 안과

L포지셔닝 애플리케이션을위한 초고속 스캐닝 카메라

L감지 응용 프로그램 LiDAR