ZYGO 레이저 간섭계 작동 절차

Interferometer 전원 켜기 및 기본 측정 단계

시퀀스에 힘

1. 컴퓨터와 모니터를 켭니다.

입력: 사용자 이름: zygo

암호: 없음

운영 체제에 로그인

2. 간섭계 호스트의 전원을 켜고 15 ~ 20 분 동안 간섭계를 예열하여 안정적으로 작동합니다.

3. 컴퓨터의 바탕 화면에서 MetroPro 아이콘을 두 번 클릭하여 MetroPro 측정 소프트웨어를 입력합니다.

전원 스위치를 켜면 표시등이 켜집니다.

기본 측정 단계

1. 마우스 왼쪽 버튼은 해당 측정 응용 프로그램 아이콘을 클릭하여 테스트 응용 프로그램을 엽니 다.

예: GPI.app 열기

2. 테스트 광학 경로 (표준 미러 및 샘플 포함) 를 구성하고 간섭 프린지를 조정하고 뒷면의 특정 측정 방법을 참조하십시오.

테스트 광 경로 (표준 미러 및 샘플 포함) 를 설정하고 간섭 프린지를 조정합니다. MetroPro 소프트웨어에서 필요한 측정 매개 변수를 설정하고 MetroPro 소프트웨어 설명서를 참조하십시오.

3. 소프트웨어의 측정 버튼을 클릭하거나 키보드의 F1 키를 눌러 측정을 완료하고 결과를 표시합니다.

4. 테스트 보고서를 저장하십시오. 마우스 왼쪽 버튼으로 "zygo" 기호를 클릭하여 창 이미지를 인쇄하거나 저장하십시오.

5. 소프트웨어에서 데이터 저장 버튼을 클릭하여 테스트 데이터를 저장합니다.

셧다운 절차

1. MetroPro 소프트웨어 닫기

MetroPro의 오른쪽 상단 모서리에있는 X 버튼을 클릭하면 대화 상자가 나타나고 YES를 클릭하여 MetroPro 소프트웨어를 닫습니다.

2. 간섭계의 주요 단위를 종료하십시오

메인 유닛의 전원 스위치를 끄면 표시등이 꺼집니다.

3. 컴퓨터와 모니터를 끕니다.

전송 요소 설치

경고!

다음 단계에서 손으로 투과성 요소를 만지지 마십시오. 지문은 영구적으로 광학을 손상시킬 수 있습니다

코팅 및 광학 표면.

1. 요소의 금속 가장자리를 잡고 보호 케이스에서 투과 요소를 제거합니다.

2. 투과성 요소의 가장자리에있는 두 개의 금속 탭을 주 장치의 조정 브래킷에있는 두 개의 해당 슬롯으로 정렬하십시오.

경고!

시스템이 수직 구성으로 설치 될 때, 아래 단계를 따라 제자리에 고정 될 때까지 투과 요소를 놓지 마십시오.

3. 전송 요소를 메인 프레임 조정 브래킷에 부드럽게 스냅하여 그룹 요소의 금속 가장자리를 손으로 잡습니다. 검은 잠금 손잡이를 돌리십시오.

검은 색 잠금 손잡이를 시계 방향으로 돌려 장치를 조정 브래킷에 고정시킵니다.

참고: 조정 브래킷에서 장치를 제거 할 때가되면 잠금 손잡이를 시계 반대 방향으로 돌리면서 장치의 금속 가장자리에서 손으로 장치를 잡으십시오.

조정 브래킷에서 모듈을 제거 할 때가되면 모듈의 금속 프레임에서 모듈을 손으로 잡고 고정 나사를 시계 반대 방향으로 풉니 다.

투과 요소 보정

간섭계로 측정을 수행하기 전에 투과성 요소를 간섭계와 정렬 한 다음 측정 샘플을 투과성 요소와 정렬해야합니다.

그런 다음 측정 샘플을 투과 요소와 정렬합니다. 투과 요소를 정렬하는 방법은 아래에 설명되어 있습니다. 측정 샘플의 보정은 "표면 품질 측정" 에 상세히 기재되어 있다.

표면 품질 측정 ”및 '전송 된 파면 품질 측정'.

1. 라이트 바 스위치가 온 위치에 있는지 확인하십시오. (라이트 바 스위치가 ON 위치에 있는지 확인하십시오.)

2. 리모컨의 ALIGN/VIEW 버튼을 누릅니다. 보정 된 대상 크로스 헤어 및 하나 이상의 밝은 점이 모니터에 표시됩니다.

모니터에. 가장 밝은 점은 투과 요소의 최외면으로부터의 광 반사를 나타낸다.

표면 품질 측정

측정될 샘플은 투과성 요소로 교정된다. 샘플이 보정된 후에, 측정은 단순히 MetroPro 소프트웨어에서 측정 키를 누르는 문제이다. 간섭계가 수직 또는 수평으로 배치되든, 일반적으로 측정 공동 (또는 샘플-표준 미러 거리) 이 가능한 한 크게 만들어져야 한다는 것이 인정된다.

샘플에서 표준 거울까지의 거리) 가능한 한 짧습니다. 이것은 공기 흐름에 의한 측정된 파면의 왜곡을 최소화할 것이다.

Transmission Flat (TF) 참조 미러 장착: 렌즈에있는 두 개의 금속 핀을 간섭계의 조정 프레임에있는 슬라이드에 놓습니다.

1. 두 금속 p 슬라이드렌즈에 간섭계의 조정 브래킷에있는 슬롯에 넣고 렌즈의 금속 프레임을 잡고 렌즈를 시계 방향으로 회전 한 다음 측면의 잠금 손잡이를 조입니다.

그런 다음 측면의 잠금 손잡이를 조입니다.

2. 표준 렌즈 정렬: 리모콘의 ALIGN/VIEW 버튼을 눌러 디스플레이 화면을 ALIGN 상태로 전환하면 크로스 헤어 필라멘트의 이미지가 평면에 나타납니다. 간섭계 메인 유닛의 조정 브래킷에있는 두 개의 손잡이를 화면에서 가장 밝은 빛의 지점이 크로스 필라멘트의 중앙에 위치 할 때까지 조정하십시오. 3.

3. 측정 할 샘플을 측정 조정 프레임에 배치하십시오. 화면에서 측정 된 부품의 밝은 점이 크로스 헤어 라인의 중심에있을 때까지 조정 프레임 틸트 노브를 조정하십시오. 렌즈의 반사 된 광점과 일치합니다.

4. 리모컨의 ALIGN/VIEW 버튼을 다시 눌러 디스플레이 화면을 "보기" 로 전환하면 간섭 무늬가 화면에 나타납니다. ZOOM 버튼을 눌러 확대/축소하여 측정하려는 표면의 이미지가 가능한 한 화면을 채 웁니다. 5.

5. 가능한 한 종이 또는 다른 마커를 측정 할 부분에 가깝게 배치하면 초점을 맞추기위한 뚜렷한 가장자리를 제공합니다. 리모컨의 FOCUS 버튼을 눌러 초점을 맞추고 이미지를 가장자리로 만들고 초점을 맞추어 가장자리를 가장자리로 만듭니다.

6. 샘플 조정 랙의 틸트 조정 노브를 미세 조정하여 프린지를 제로로 조정하십시오 (간섭 프린지가 최소화되도록).

7. 측정을 수행하기 위해 키보드의 MetroPro 또는 F1 키의 측정 키를 누릅니다.

간섭계의 주요 단위 유지 보수

악기 사용을위한 안전주의 사항

1. 측정 중에 메인 유닛 또는 진동 방지 플랫폼을 만지지 마십시오.

2. 감전의 위험을 최소화하기 위해 계기는 전원 공급 장치 출력을 통해 전기적으로 접지되어야합니다.

3, 레이저 안전 지침에 대해 읽는 간섭계 설명서.

4. 메인 유닛을 움직이지 마십시오. 이동해야하는 경우 악기 상단에 설계된 두 개의 특수 핸들을 사용하십시오.

이동해야하는 경우 악기 상단에 설계된 두 개의 특수 핸들을 사용하여 조심스럽게 이동하십시오. 압전 세라믹을 손으로 직접 만지지 마십시오.

압전 세라믹은 고정밀 구조이며 힘에 의해 손상되기 쉽기 때문에 언제든지 외력을 피하십시오. 그림과 같이:

호스트의 유지 보수

메인 유닛은 실제로 유지 보수가 필요 없지만 비교적 깨끗한 환경에서 기기를 작동하는 것이 매우 중요합니다.

그러나 비교적 깨끗한 환경에서 기기를 작동하는 것이 매우 중요합니다. 메인 유닛 하우징을 청소해야하는 경우 아래 단계를 따르십시오.

1. 적당한 pH의 가구 클리너를 사용하여 소량의 클리너로 축축한 부드러운 천으로 메인 유닛의 측면과 전면 패널에서 지문과 먼지를 닦아냅니다.

지문 및 먼지와 같은 패널.

2. 마른 천을 사용하여 구성 요소에서 먼지를 닦으십시오. 광학 장치 근처에서 클리너 나 스프레이를 사용하지 마십시오.

렌즈는 코팅 된 광학 장치이며 청소 스프레이는 표면을 손상시킬 수 있습니다. 렌즈 시스템 청소 섹션은 다음을 참조하십시오.

다음 장의 "광학 청소" 섹션.

컴퓨터 구성 요소의 유지 보수

컴퓨터, 컬러 모니터, 마우스, 키보드 및 프린터 (설치된 경우) 를 포함한 구성 요소의 유지 보수에 대해서는 제조업체의 설명서를 참조하십시오.

서비스 할 구성 요소에는 컴퓨터, 컬러 모니터, 마우스, 키보드 및 프린터 (설치된 경우) 가 포함됩니다.

문제가 발생하고 문제를 찾을 수없는 경우 Zygo에 문의하십시오.

광학 유지 보수 및 청소

광학 유지 보수

측정 완료 후 간섭계를 장시간 사용하지 않으면 렌즈 및 기타 광학 장치를 조심스럽게 제거하고 특수 렌즈 케이스에 보관하십시오.

특수 렌즈 케이스에 보관하십시오.

청소 광학

정밀 광학 장치를 청소하면 표면이 손상 될 수 있습니다. 모든 세척 가능한 렌즈 표면이 코팅됩니다.

모든 세척 가능한 렌즈 표면이 코팅됩니다. 불필요하고 잘못된 청소는 쉽게 코팅을 손상시킬 수 있습니다. 우리는 광학을 올바르게 잡고 사용하지 않을 때는 방해가되지 않아야합니다.

구성 요소를 올바르게 사용하지 않을 때는 플라스틱 케이스로 되돌리고 깨끗한 환경을 유지하여 청소주기 수를 최소화하십시오.

청소 횟수를 최소화해야합니다.

메인 내부의 광학 장치를 청소하지 마십시오.단위는 시스템 성능에 영향을 미칩니다. 필요한 경우 Zygo에 연락하십시오.

필요한 경우 Zygo에 연락하십시오.

권장 청소 재료

폴리에틸렌 실험실 장갑

장치 표면의 오염을 방지하고 유해하고 자극적 인 화학 물질과의 접촉으로부터 피부를 보호하기 위해 장갑을 착용하십시오.

물질.

노즐이있는 압축 가스

노즐이있는 압축 가스는 광학 장치의 표면에서 먼지와 먼지를 날려 버리는 데 사용됩니다.

거울 종이

필요할 때 광학 장치의 표면을 청소하는 데 사용됩니다. 거울 용지는 정밀 광학 장치를 닦는 데 특화되어 있어야합니다.

면봉

도달하기 어려운 표면을 청소하는 데 사용되는 면봉은 목재와 종이, 면화 및 기타 재료로 만들어야합니다. 플라스틱 막대가 아세톤에 용해

플라스틱 막대는 아세톤에 용해됩니다.

용매

스펙트럼 등급 이소 프로필 알코올 및 메탄올을 사용하여 광학 표면에 부착 된 오염 물질을 청소하십시오. 중성 1% 비누 용액 또는 광학 클리너를 사용하십시오.

오일 기반 오염 물질을 청소하는 농도 비누 용액 또는 광학 청소기.

권장 청소 절차

경고!

이소 프로필 에탄올 및 메탄올을 사용할 때는주의를 기울여야합니다. 그들은 가연성이고 독성입니다. 청소 물티슈를 재사용하지 마십시오. 재사용하면 먼지가 달라 붙어 광학 장치가 손상 될 수 있습니다.

광학 장치를 청소하기 전에 손가락과 손목에서 반지와 같은 보석을 제거하고 손을 조심스럽게 씻어서 피부 오일을 제거하고 장갑을 착용하십시오.

오염 청소 절차

먼지 또는 미세 오염

1. 노즐로 먼지 또는 오염의 느슨한, 작은 조각을 날려.

2. 먼지가 여전히 존재하는 경우 나무 면봉 주위에 거울 종이 두 장을 감거나 거울 종이를 접어서 청소할 부분보다 넓습니다.

3. 종이에 에탄올 또는 메탄올 한 방울을 놓습니다.

4. 한 방향으로 렌즈를 한 번 닦으십시오. 더 많은 닦기가 필요한 경우 새 나무 면봉과 거울 종이를 사용하십시오. 지문, 기름 및 물 표시 참고: 이 상태는 표면에서 즉시 청소해야합니다. 피부의 산은 렌즈 표면을 손상시킬 수 있습니다.

5. 스프레이 노즐로 작은 느슨한 먼지 또는 먼지를 날려 버리십시오.

6. 먼지가 여전히 존재하는 경우 나무 막대기 주위에 거울 종이 두 장을 감거나 거울 종이를 접어서 청소할 부분보다 넓습니다.

7. 종이에 1% 비누 용액 한 방울을 바르십시오.

8. 한 방향으로 렌즈를 한 번 닦으십시오. 더 많은 닦기가 필요한 경우 새 면봉과 종이를 사용하십시오.

9. 증류수로 적신 종이를 사용하여 2 ~ 4 단계를 반복하십시오. 비누 잔류 물을 닦기 위해.

10. 메탄올 또는 에탄올로 종이를 적시고 2 내지 4 단계를 반복한다.