마이크로 미러 개요
일반 광학 미러와 마찬가지로 마이크로 미러는 일반적으로 약 Ø2mm 의 스몰 사이즈 특징입니다. 이들 미러는 또한 다양한 금속 및 유전체 박막으로 코팅될 수 있다. 주로 내시경 및 레이더 카메라와 같은 특수 응용 프로그램에 사용됩니다.
마이크로 거울의 특징
스몰 사이즈: 광학 마이크로 미러의 크기는 일반적으로 약 Ø2mm 또는 더 작습니다. 이를 통해 매우 컴팩트 한 시스템에 통합 될 수 있습니다.
높은 정밀도: 고급 제조 기술의 사용으로 인해 광학 마이크로 미러는 표면 평활성과 반사 정확도가 매우 높습니다.
튜닝성: 일부 광학 마이크로 미러는 동적 광학 제어를 달성하기 위해 각도 또는 모양을 변경하기 위해 전기 신호로 조정할 수 있습니다.
다중 코팅: 광학 마이크로 미러는 특정 파장에서 반사율, 내구성 및 광학 성능을 향상시키기 위해 다양한 금속 및 유전체 필름으로 코팅 할 수 있습니다.
높은 반사율: 적절한 코팅 처리로 광학 마이크로 미러는 효율적인 광학 시스템에 적합한 매우 높은 반사율을 달성 할 수 있습니다.
마이크로 거울의 사양
사양 | 상업 사양. | 높은 정밀도 사양. |
소재 | UV 유리 (석영, 융합 실리카) | |
VIS 유리 (Schott, CDGM, HOYA 등) | ||
차원 | 0.5mm ~ 5mm | |
차원 공차 | ± 0.1mm | ± 0.05mm |
초점 길이 공차 | ± 2% | ± 1% |
표면 품질 | 60/40 | 40/20 |
집중 | <3 아크 min | <1arc min |
표면 그림 | 3λ | 2λ |
표면 불규칙성 | 1/4λ | 1/10λ |
클리어 조리개 | > 희미한 85% | > 희미한 90% |
베벨 | <0.2mm x 45deg | <0.1mm x 45deg |
코팅 | 고객의 요청에 |
마이크로 거울의 응용
의료 내시경: 내시경에서는 광학 현미경을 사용하여 빛을 안내하고 반사하여 의사가 작은 절개를 통해 신체 내부를 볼 수 있습니다. 이 응용 프로그램은 높은 반사율을 가진 마이크로 미러와 타이트한 공간에서 작동 스몰 사이즈 필요합니다.
레이저 스캐닝 시스템: 광학 마이크로 미러는 고정밀 이미지 캡처 및 처리를 달성하기 위해 미러 각도를 신속하게 조정하여 레이저 빔을 스캔하는 레이저 스캐닝 시스템에 사용됩니다.
광 통신: 광 통신 시스템에서 광학 마이크로 미러는 광 신호를 라우팅하고 스위칭하는 데 사용되어 효율적이고 손실이 적은 광 경로 제어를 제공합니다.
투사 디스플레이: 디지털 광 처리 (DLP) 프로젝터에서 수백만 개의 마이크로 미러가 빛의 반사를 제어하여 고해상도 이미지를 형성하는 데 사용됩니다.
적응 광학: 천문학 및 현미경에서 광학 마이크로 미러는 광학 시스템의 수차를 보상하고 미러 모양을 실시간으로 조정하여 이미지 품질을 향상시키기 위해 적응 형 광학 시스템에 사용됩니다.
레이더 카메라: 레이더 이미징 시스템에서 광학 마이크로 미러는 레이더 빔을 안내하고 집중하여 고해상도 표적 탐지 및 이미징을 달성하는 데 사용됩니다.